等离子清洗机实际上是一个表面处理系统，配置的兼容性非常重要，要想工作稳定，每一个零部件的运行都不能出任何差错。尤其是对于UPH要求很高的工厂，一旦出现故障，又不能够及时排除，损失会非常大！我们今天根据多年的研发、生产及维护经验，整理出真空等离子清洗机常见的故障报警及处理方法。
1、等离子清洗机真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障
①出现此情况请首先观察真空等离子清洗机的系统参数设置有无变化，真空等离子清洗机突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。
②如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况。
③检查导线是否有断路或短路情况。
④如无上述异常，请检查真空等离子清洗机的真空泵。
2、等离子清洗机三相供电相序异常，请更换相序真空等离子清洗机有相序保护继电器，如出现此类报警，请更换相序。
3、真空等离子清洗机一路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
4、等离子清洗机二路供气压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽3及4是气路控制系统报警，出现此报警请先检查气体是否打开或耗尽。如气体没有问题，请检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作。检查电气线路是否出现断路或短路。
5、等离子清洗机放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽
如出现此类报警，请检查真空等离子清洗机腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。
6、真空等离子清洗机真空室门未关好，请关好真空室门
①在真空等离子清洗机真空腔门没有关上的情况下，启动设备会出现此类报警，请关好真空门。
②如真空腔门关好出现此报警，请检查传感器及线路。
7、等离子清洗机的真空泵机械故障，请检查真空泵抽空能力，故障排除点击复位键
①所处理产品有严重渗气情况，真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空。
②真空泵故障，需检查保养真空泵。
8、真空等离子清洗机真空度过高，系统自动停机，请检查故障，故障排除点击复位键
①进气流量设置较大，无法保持真空度。
②流量计故障，无法控制流量。请检查线路及流量计。
③真空腔体或管道漏气，检查各连接部位及腔体密封。
④检查系统参数设置。
9、等离子清洗机真空度过低，系统自动停机，请检查供气是否正常
①进气流量设置较小，无法保持真空度。
②流量计故障：流量计出现堵塞或损坏。
③检查减压表、气路电磁阀是否正常工作。
④检查系统参数设置。
10、等离子清洗机真空计故障报警，真空计故障或损坏，请检查并更换真空计检查真空计是否损坏，检查真空计控制线路是否有断路或短路。
11、真空等离子清洗机急停未复位或已按下，请打开急停开关检查急停是否被按下，如没有此情况，请检查急停线路。
12、等离子清洗机电源故障报警
①检查电源设备与反馈信号是否正常(万用表测量和检测端子是否压紧)。
②检查同轴电缆及各连接线是否正常(万用表测量和检查连接是否松动)。
③查看匹配器电容初始位置是否偏移，如有偏移请重新设定。
④检测电源设定是否正常，检测匹配器的电容是否正常运行。
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