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RIE反应离子刻蚀机是微纳加工核心干法刻蚀设备,通过等离子体物理轰击、化学反应协同实现材料的各向异性、高精度、高选择比刻蚀,广泛用于半导体、MEMS、光电子、化合物半导体等领域。工作原理:等离子体生成:在真空腔室内,通过高频电场激发刻蚀气体...
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在半导体、精密电子、制造等领域,电感耦合等离子清洗机(ICP清洗机)已成为不可少的核心工艺设备。它以电感耦合射频技术为核心,通过电离惰性或反应性气体形成高密度等离子体,实现材料表面的超精密清洁、活化与改性,解决传统清洗技术无法突破的纳米级清...
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在芯片制造的洁净车间里,一片晶圆经过多道工序后,表面覆盖的光敏材料需要被精确剥离。承担这项任务的设备,通过电离气体产生化学活性物质,以气相反应的方式完成清洁工作。等离子去胶机的核心原理建立在等离子体化学基础之上。设备腔体内,氧气或含氟气体在...
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氧等离子清洗机是依托等离子体表面处理技术,以氧气为工作气体实现材料表面精细化清洗、活化与改性的专用设备,核心在真空环境中将氧气电离为活性氧等离子体,通过等离子体与材料表面的物理、化学作用,去除有机污染物并优化表面特性,全程无化学试剂、无二次...
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闪蒸成膜仪是用于薄膜制备的设备,在材料科学等领域应用广泛。闪蒸成膜仪通过创造真空环境,降低液体溶剂的沸点,加速溶剂挥发,使溶质在基片表面快速沉积并形成均匀薄膜。其核心原理包括:真空干燥:在真空条件下,液体沸点显著降低,溶剂挥发速度加快,有利...
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匀胶旋涂仪是一种利用离心力将胶液均匀涂覆在基片上的设备,常见于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域,如半导体材料研发和制备工艺、生物材料物性分析、化工材料薄膜的制备工艺等。它可以用来制备厚度小于10纳米的薄膜,也常用于约...
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土壤有机碳消解仪的核心原理基于氧化还原反应,通过化学试剂与高温环境的协同作用,将土壤中的有机碳转化为可定量分析的化合物,反应完成后,通过分光光度计在585纳米波长下测定三价铬的吸光度,其浓度与有机碳含量呈线性关系,从而计算出土壤中有机碳的精...
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微波消解罐是微波消解系统中的核心部件,主要用于在高温高压条件下对样品进行消解处理。广泛应用于食品、纺织、塑料、地质、冶金、环境监测等领域的样品制备,用于土壤、固废、食品中金属元素分析等,帮助科研人员和检测人员将难以分解的样品快速消解,以便进...