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等离子清洗机的风险辨识及管控措施

点击次数:18 发布时间:2020-10-20


    等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,通过对气体施加足够的能量,使之离化成等离子状态。依靠等离子体中活性离子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。等离子清洗机外接一台真空泵,工作时清洗腔内的等离子体轻柔的冲刷被清洗物表面,短时间的清洗可以使有机污染物被彻底的清洗掉,同时污染物被真空泵抽走,清洗程度能达到分子级。有效避免了因液体清洗介质对清洗物带来的二次污染。

    等离子清洗机工作原理:

    等离子清洗机采用气体作为清洗介质,通过化学反应或物理反应,达到清洗目的。

    (1)化学反应

    在化学反应里常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CH4)等,其反应机理主要是利用等离子体里的自由基与材料表面做化学反应。下图为氧等离子体去除有机物的反应过程。

    (2)物理反应

    常见的气体为氩气,氩离子在自偏压或外加偏压作用下,被加速产生动能,轰击放在负电极上的被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、环氧树脂或者微颗粒污染物,同时进行表面能活化。

    等离子清洗机风险辨识如下:

    (1)清洗介质的泄漏风险

    清洗介质一般为气体,常使用气瓶,通过管道送至设备使用,如果发生气瓶或送气管道、用气设备的泄漏,可能会发生事故,如果使用氢气、甲烷等易燃易爆气体,室内有明火、静电等可能发生火灾、爆炸事故;如果使用氩气,室内通风不良,可能发生窒息事故;如果使用氧气,氧气属于氧化性气体,会增加可燃物的易燃性,如果室内氧气浓度过高,可能会发生火灾事故。

    (2)设备触电风险

    1)电气设施线路绝缘因击穿、老化、腐蚀、机械损坏等失效。

    2)未装设漏电保护装置或漏电保护装置失效。

    等离子清洗机管控措施:

    (1)防火、防爆、防窒息措施

    1)规范气瓶使用,气瓶附件应齐全,并采取防止倾倒的措施。气瓶应定期检测,确保在有效期内。供气管道与用气设备连接牢固。

    2)如使用氧气,气瓶阀、接头、减压器、软管及设备必须与油、润滑脂及其它可燃物或爆炸物相隔离。严禁用沾有油污的手、或带有油迹的手套去触碰氧气瓶或氧气设备。如使用氢气,建议在使用设备附近设置氢气泄漏报警器。

    3)保持室内通风良好,通风不良的应加装机械排风。

    (2)防触电措施

    设备应接地,电源线无破损、老化现象。

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