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为使匀胶旋涂仪达到预期的效果,在使用时应注意这几点

发布时间:2021-05-08      点击次数:323
  匀胶旋涂仪快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。主要用于微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。匀胶旋涂仪的使用注意事项:

  1、在开机前,要抬起控制键以及吸片键,将电源开启以后,分别将各键按下进行操作,从而使没有启动电机就转动得以避免。

  2、片子尺寸不一样,选用的片托的尺寸也不一样,厚度低于1.5毫米的片子对带吸气槽的片托进行选用,厚度高于1.5毫米的片子,对O型圈的片托进行选用。

  3、相比于片托有效尺寸,所甩的样片的尺寸要大大约2-3毫米。若使用大片托甩小的样片,就会漏气,与此同时导致往抽气室内吸入胶。

  4、若一不小心被吸入了抽气室,需要马上进行清洗,不然片托、光电盘、电机轴就会粘在一起,导致电机转不动,拆卸也变得非常困难。

  5、在使用结束后,应对设备进行清洁。

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