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匀胶旋涂仪在选购时建议您关注的因素

发布时间:2022-11-25      点击次数:959
  匀胶旋涂仪具有匀胶效率高,使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调。面对众多的品牌,在选购合适的匀胶旋涂仪时您可以关注哪些因素呢?
 
  1、旋转速度: 转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。
 
  2、尺寸选择,根据尺寸的不同选择不同大小的机型。
 
  3、材质的选择:对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。
 

匀胶旋涂仪

 


 
  匀胶旋涂仪在匀胶过程中基片的加速度也会对胶膜的性能产生影响。因为在基片旋转的第一阶段,光刻胶就开始干燥(溶剂挥发)了。所以精确控制加速度很重要。在一些匀胶过程中,光刻胶中50%的溶剂就在匀胶过程开始的几秒钟内挥发掉了。在已经光刻有图形的基片上匀胶,加速度对胶膜质量同样起重要作用。在许多情况下,基片上已经由前面工序留下来的精细图形。因此,在这样的基片上穿越这些图形均匀涂胶是重要的。匀胶过程总是对光刻胶产生离心力,而恰恰是加速度对光刻胶产生扭力(twisting force),这个扭力使光刻胶在已有图形的周围散开,这样就可能以另一种方式用光刻胶覆盖基片上有图形的部分。
 
  所有匀胶过程中光刻胶的干燥速度不仅取决于光刻胶的自身性质(如所用溶剂体系的挥发性),而且还取决于匀胶过程中基片周围的空气状况。一块湿布在干燥有风的日子干得快,而在潮湿气候条件下干得慢。光刻胶的干燥速度与此相似,也受周围环境条件的影响。
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