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等离子表面处理仪可以应用在哪些方面?

更新时间:2023-06-27       点击次数:1438
等离子表面处理仪是一种紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件下,迅速活化和清理材料表面。为了获得高质量的外延薄膜或者光学涂层,预先进行表面处理可以得到的效果。

等离子表面处理仪的优点:

1.清除表面有机污染物。

2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本低。

3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。

4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。

5.常温条件下清洗,被清洗物的温度变化微小。

6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。

应用:

1.表面清洗:设备生产的等离子体内有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,通过物理及化学反应,将表面污染物、杂质清除,达到表面清洗的作用。

2.表面改性:等离子体与物体表面发生反应,使得物体表面的化学键断裂,等离子体中的自由基反应生产新键,大大提供表面活性,有利于粘接、涂覆等工艺。

3.表面刻蚀:通入腐蚀性气体进行等离子体反应时,气体与物体表面反应生产挥发性物质,通过真空泵抽离,在表面形成需要的图案、形状,完成刻蚀效果。

华仪行(北京)科技有限公司
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