匀胶旋涂仪的操作步骤

匀胶旋涂仪的使用步骤：

1、开机前准备：清理残余物，选择合适的吸盘，并将样品放在吸盘正中央。

2、开机与设定：打开电源，设定涂布的时间和转速，并启动真空吸附。

3、涂布：滴加光阻剂，并启动涂布过程。

4、完成涂布后，关闭真空和电源，取下样品。

本公司提供的L2001匀胶旋涂仪操作简单，方便实用，旋涂均匀，结构小巧紧凑，占地面积小，节省超净间的使用面积，为实验室提供了理想的解决方案，其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘，无需真空泵或充氮气，就能达到很好的旋涂效果。匀胶旋涂仪可对大小不同规格的基材都可进行旋涂，尤其是对超薄样品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象，影响涂层的均匀性。