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CIF离子溅射仪是使用什么技术工作的?

更新时间:2026-04-29       点击次数:23
CIF离子溅射仪是一款小型台式磁控溅射设备,专为电镜样品制备与实验室精密镀膜设计,主打低温、均匀、智能可控。

该设备采用磁控溅射技术:

腔体抽至高真空

通入氩气,电场电离产生氩离子;

离子在磁场约束下高速轰击金//铬等靶材;

靶材原子被溅射到样品表面,形成纳米级均匀导电膜。

本公司提供的IBS150 CIF离子溅射仪特点:

智能触控,数据可视:7英寸彩色触摸屏,支持中英文界面,实时监测并调控工艺参数;可存储20组配方程序,数据全程可追溯,确保工艺标准化与重复性。

灵活操控,双模式适配: PLC控制系统,支持手动/自动切换,适应多样应用场景,操作更自由。

控气,工艺兼容性强:气体流量自动调节,内置质量流量计,控制气体流量,支持氧气、氩气、氮气等多种工艺气体,满足多样化镀膜需求。

均匀镀膜,一致性高:样品台可旋转并具备高度调节功能,显著提升膜层均匀性与一致性,适配多种靶材。

人性化设计,操作舒适:60°倾角操作面板,符合人机工程学,界面清晰简洁,操作流畅便捷。

低温处理,样品无损:镀膜过程中样品温度维持在4050℃,有效避免热损伤与热氧化,保留样品本征特性。

洁净防护,避免污染:配备气体返填吹扫与HEPA高效过滤系统,防止污染物残留,确保镀膜环境洁净可靠。

多重安全保障:舱门开启自动断电,内置多项安全保护机制,使用更安心。

CIF离子溅射仪广泛适用于以下领域:

科研实验:材料科学、半导体、新能源等领域的高精度镀膜需求。

精密制造:为扫描电子显微镜、透射电镜等仪器制备导电薄膜,增强非导电或导电性差样品的观测效果。

工业生产:适用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理,提升产品质量与可靠性。

华仪行(北京)科技有限公司
地址:北京市丰台区科兴路7号国际企业孵化中心301室
邮箱:cif_lab@163.com
传真:86-010-63752028
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