该设备采用磁控溅射技术:
腔体抽至高真空;
通入氩气,电场电离产生氩离子;
离子在磁场约束下高速轰击金/铂/铬等靶材;
靶材原子被溅射到样品表面,形成纳米级均匀导电膜。
本公司提供的IBS150 CIF离子溅射仪特点:
智能触控,数据可视:7英寸彩色触摸屏,支持中英文界面,实时监测并调控工艺参数;可存储20组配方程序,数据全程可追溯,确保工艺标准化与重复性。
灵活操控,双模式适配: PLC控制系统,支持手动/自动切换,适应多样应用场景,操作更自由。
控气,工艺兼容性强:气体流量自动调节,内置质量流量计,控制气体流量,支持氧气、氩气、氮气等多种工艺气体,满足多样化镀膜需求。
均匀镀膜,一致性高:样品台可旋转并具备高度调节功能,显著提升膜层均匀性与一致性,适配多种靶材。
人性化设计,操作舒适:60°倾角操作面板,符合人机工程学,界面清晰简洁,操作流畅便捷。
低温处理,样品无损:镀膜过程中样品温度维持在40–50℃,有效避免热损伤与热氧化,保留样品本征特性。
洁净防护,避免污染:配备气体返填吹扫与HEPA高效过滤系统,防止污染物残留,确保镀膜环境洁净可靠。
多重安全保障:舱门开启自动断电,内置多项安全保护机制,使用更安心。
CIF离子溅射仪广泛适用于以下领域:
科研实验:材料科学、半导体、新能源等领域的高精度镀膜需求。
精密制造:为扫描电子显微镜、透射电镜等仪器制备导电薄膜,增强非导电或导电性差样品的观测效果。
工业生产:适用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理,提升产品质量与可靠性。
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