等离子清洗机一般可分为大气（常压）等离子清洗机和真空（低压）等离子清洗机，前者是在开放的空间或者半封闭状态下常压放电，后者则是在全封闭的空间需要抽真空形成低压产生辉光，无论那种形式，从微观上分析等离子体形成的过程基本一致，那么让我们一起来看一下等离子体究竟是如何形成的。
物质从能量较低的聚合态转为能量较高的聚集态将要从外界供给能量（如加温、电场、辐射等），从固体转化为液体或从液体转化为气体时每个粒子需要0.01eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，当气体进一步从外界吸收能量，分子热运动进一步加剧，分子离解为原子，原子中的电子获得足够的能量脱离电子，成为自由电子。气体被电离，被电离的气体中含有大量的电子、离子以及部分中性粒子（原子和分子），其中电子和离子的电荷数差不多相等，宏观上或平均意义上它是电中性的。
当温度在0℃以下时水会呈现固态，就是“冰”；当温度在0℃到100℃之间，水会变成液态，也就是“水”；当温度上升到100℃以上，水就会变成气态，也就是“水蒸气”。加热到上万度之后会变成物质的第四个状态—等离子体！
大气（常压）等离子清洗机是把无水无油的压缩空气（CDA）通过喷枪电极形成等离子体的设备。
真空（低压）等离子清洗机是先把反应腔体抽真空，然后通入反应气体，维持到一定的真空度后在电极通电，形成高频高压电场，激发气体放电的设备。
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