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等离子清洗机的工艺特点有哪些?

发布时间:2021-03-25      点击次数:94
   常规情况下,我们认为等离子清洗机对材料的处理效果与以下几个方面相关:
  ①工艺气体:一般在等离子清洗中,可把活化气体分为两类,一类为惰性气体的等离子体(如Ar2、N2等):另一类为反应性气体的等离子体(如O2、H2、含氟气体等)。以氩等离子为例,在一个物理过程中,在氩等离子中产生的离子会以足够的能量辐射表面,去掉表面污物。带正电的氩等离子将被吸引到在真空舱体的负极板。由于高能等离子撞击,撞击力足以去除表面上的任何污垢,随后污垢通过真空泵以气体形式排出。
  ②气体流量:工艺舱体压力与气流速度、产品排气率和泵速成函数关系。舱体内气体接入量的不同,造成产生等离子体的密度不同,从而影响处理效果。
  ③功率:通过提高等离子清洗机处理的功率,可增加等离子体的密度和能量,从而加快等离子处理的速度。等离子体密度是单位体积内所包含的等离子体的数量。等离子体能量定义了等离子体进行表面物理轰击的能力。
  ④时间:工艺时间的长短与功率、气体流量和气体类型相关。以在PBGA基板上提高引线的键合能力为例,一个短时间的等离子处理,引线的键合强度相对于未处理前只提高了2%:但是将处理时间增加1/3,引线的键合强度将比未处理前提高20%。这里应该指出的是,过长的工艺时间并不总是可以提高材料的表面活性。从提高生产效率这方面出发,还应尽量减少工艺时间,这在大批量生产中尤为重要。
  实际上,在整个等离子处理过程中,影响处理效果的要素还包括过程温度、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等。
  等离子清洗机表面处理处理工艺的特点是能对任何材质的材料进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子有机聚合物(聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯)等材料,并可实现整体、局部和复杂结构的表面处理。处理后的重要效果之一是提高基材表面的活性(附着力)。不同的元器件和材料在进行等离子处理时,需要根据具体情况和实验数据制定适合的相关工艺。
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