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专家对于小型等离子清洗机的使用情况分析概述

发布时间:2017-07-13      点击次数:265
     小型等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。小型等离子清洗机利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。
    等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
    在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,小型等离子清洗机通过等体子体轰被清洗产品面.以达到清洗目的。等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、业态、气态3种状态存在,但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在,如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态,又称位物质的第四态。
    等离子体中存在下列物质。处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
    我们在长期从事等离子体应用技术研究和设备研制的基础上,充分借鉴欧美的先进技术,并通过与国内外着名研究机构的技术合作,开发出具有自主知识产权的电容耦合放电、电感耦合放电和远区等离子放电等多种放电类型的产品。特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求,包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。
    小型等离子清洗机的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。
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