紫外臭氧清洗机具有干洗处理、无需真空处理、无破坏灯特长，紫外线灯和照射装置的高输出照射技术，实现了以往用溶剂或超声波清洗液难以达到的高品质、高速处理效果。为客户能制造出更高品质的产品而提供紫外线清洗和紫外线改质。
紫外臭氧清洗机的灵活性，能满足有机分子去除和其他众多领域的应用。可以直接在空气中操作，也可通过两个标准气路中的一个接入氧气，从而增加臭氧产量。PSD Pro系列紫外臭氧清洗机通过可编程数字控制器控制系统工作进程，来确保清洗时间和各项参数的准确性。是一种简单，经济，快速的材料表面清洗设备，只需把样品放置到样品盘上，关上舱门，设置时间，并按运行，就可以了，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。
紫外臭氧清洗机产品特点：
1.UVO基础型采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
2.自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
3.数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
4.可随时手动中断处理过程。
5.自动记录之前清洗参数设置。
6.样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。
7.顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
8.上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
9.样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
10.UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
11.高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
12.UV反射罩（长x宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
13.双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。
14.带进&出气口双气路设计，可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
15.UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16.可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
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