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等离子表面处理仪具有哪些功能特性?

点击次数:116 发布时间:2020-05-06

  等离子体就是指全部或部分离子化的气体,它们有电子、离子,还包括激发分子、自由基和光子等高能活性成分,且自由电子和离子所带正、负电荷总和完全抵消。
 
  等离子表面处理仪过程中同时具有如下一些功能特性:
 
  1、等离子清洗:去除基体材料表面的无机物或弱键以及典型-CH基有机污染物和氧化物。主要特点:只与材料表面纳米级的厚度起反应,而对内部无任何侵蚀,得到超高洁净表面为下道工序做好准备。
 
  2、等离子表面处理仪活化主要特点:可使聚合物表面出现部分活性原子、自由基和不饱和键,这些活性基团与等离子体中的活性粒子发生反应生成新的活性基团,从而增加表面能量,改变表面的化学特性,增强表面附着力、粘结力。
 
  3、等离子刻蚀:利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离子体与基体材料发生化学反应,生成如CO、CO2、H2O等挥发气体,从而达到蚀刻的目的。
 
  4、等离子表面处理仪涂层(接枝、沉积):两种以上气体(或单体)同时进入反应腔体,气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗的要求更严格一些。典型的应用是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟乙烯(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。

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