氧等离子清洗机的工作原理基于等离子体技术。在真空腔体中,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体。这些等离子体通过轰击被清洗产品表面,达到清洗目的。具体来说,工艺气体氧气与碳聚合物在等离子体的作用下发生反应,生成水蒸气、二氧化碳等反应物,随后通过真空泵抽出,完成清洗过程,其广泛应用:
半导体行业:用于去除硅片上的光刻胶,金属化前器件衬底的清洗,以及混合电路粘片前、键合前、金属化陶瓷管封帽前的等离子体清洗。
生物医疗行业:用于医疗器械的表面处理,提高医疗器械的清洁度和生物相容性。
新能源行业:在电池和太阳能电池板的制造过程中,用于清洗和活化表面,提高电池性能和太阳能转换效率。
氧等离子清洗机的操作:
1.在使用前,需要检查设备的各个部件是否完好,确保电源、气源和真空系统正常工作。
2.根据清洗材料的类型和污染物的性质,选择合适的工作气体(如氧气)和清洗参数(如功率、处理时间、真空度等)。
3.将待清洗的物体放入真空腔体中,确保物体表面均匀暴露在等离子体中。
4.关闭腔体门,启动真空泵,将腔体内的空气抽出,达到所需的真空度。然后通入适量的工作气体,启动高频电源或微波源,将气体电离形成等离子体。
5.根据预设的清洗参数进行清洗处理。清洗完成后,关闭高频电源或微波源,停止通入工作气体,打开腔体门取出清洗后的物体,关闭真空泵,清理腔体内的残留气体和污染物。
在选购氧等离子清洗机时,需要考虑以下因素:
1.明确应用领域和需求,如去除有机污染物、改善表面亲水性或提高粘接性能等。不同的应用场景可能需要不同类型的等离子体(如氧气等离子)来达到使用效果。
2.根据待处理样品的数量和尺寸选择相应规格的清洗机。小型机通常适用于实验室研究或小批量生产。
3.选择界面友好、易于上手的机型。具备自动化程度高、参数设置灵活等特点的设备更受欢迎。