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匀胶旋涂仪选购时需要注意的细节有哪些?

发布时间:2021-12-24      点击次数:54
  匀胶旋涂仪的运行可以按基片旋转速度及胶质的变化,分为4个阶段:滴胶,加速旋转,匀速旋转以及去边,其中第3阶段匀速旋转阶段是胶质涂层厚度和均匀性控制的重要阶段。在滴胶前,胶质需经过亚微米级别的过滤处理,否则薄膜有可能形成彗星图,星状图,或产生气泡。
  滴胶阶段是将胶质溶剂沉积在基片上中心位置的过程。可以手动滴加,或用配备的自动滴胶器滴加。一般而言,自动滴胶方式由于是自动机械化操作,薄膜的厚度,均匀性,及可重复性都很好,并且也可以减少易挥发的毒性气体与身体接触。而手动滴胶是人工操作,适合要求不高的薄膜制备。
  匀胶旋涂仪选购时需要注意的几个细节:
  1、旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能准确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。
  2、真空吸附系统的构造
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
  3、材质的选择
  对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目前有些国外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
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