匀胶旋涂仪选购时需要注意的细节有哪些？

　　匀胶旋涂仪的运行可以按基片旋转速度及胶质的变化，分为4个阶段：滴胶，加速旋转，匀速旋转以及去边，其中第3阶段匀速旋转阶段是胶质涂层厚度和均匀性控制的重要阶段。在滴胶前，胶质需经过亚微米级别的过滤处理，否则薄膜有可能形成彗星图，星状图，或产生气泡。

　　滴胶阶段是将胶质溶剂沉积在基片上中心位置的过程。可以手动滴加，或用配备的自动滴胶器滴加。一般而言，自动滴胶方式由于是自动机械化操作，薄膜的厚度，均匀性，及可重复性都很好，并且也可以减少易挥发的毒性气体与身体接触。而手动滴胶是人工操作，适合要求不高的薄膜制备。

　　匀胶旋涂仪选购时需要注意的几个细节：

　　1、旋转速度：转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能准确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有国际标准认定。

　　2、真空吸附系统的构造

　　真空泵一定要无油的，压力标定准确，国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多国外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。

　　3、材质的选择

　　对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目前有些国外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。