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匀胶旋涂仪

简要描述:英国Ossila公司匀胶旋涂仪,操作简单,方便实用,旋涂均匀,结构小巧紧凑,为实验室提供了理想的解决方案,其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘,无需真空泵或充氮气,就能达到很好的旋涂效果。匀胶旋涂仪可对大小不同规格的基材都可进行旋涂,尤其是对超薄样品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象,影响涂层的均匀性。匀胶旋涂仪广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

  • 产品型号:L2001
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-06-15
  • 访  问  量:2211

详细介绍

价格区间5万-10万产地类别进口
应用领域医疗卫生,环保,食品,化工,农业

  英国Ossila公司匀胶旋涂仪,操作简单,方便实用,旋涂均匀,结构小巧紧凑,为实验室提供了理想的解决方案,其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘,无需真空泵或充氮气,就能达到很好的旋涂效果。匀胶旋涂仪可对大小不同规格的基材都可进行旋涂,尤其是对超薄样品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象,影响涂层的均匀性。匀胶旋涂仪广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。

  Ossila匀胶旋涂仪控制和显示:

  1.非常方便设定处理速度和加速度程序段;可设置顺序循环控制;

  2.显示精度控制在设定值的0.006%以内

  3.操作者可随时随地自由实现人机交互;

  设备运转进程中,可随意向前,向后或者往返跳跃操作步骤;

  循环指令,并可以重复操作;

  在运转模式下也可以实时改变速度和加速度;

  包含PC程序端接口;

  可视化操作模型(化学试剂,传感器所见即所得的操作界面);

  故障报警装置(可形象显明故障发生位置)。

匀胶旋涂仪技术性能

  • 可在手套箱和通风厨内使用,基座面积仅为22.5x17cm。
  • 无需真空泵、充氮气,节省保养维护费用。
  • 创新设计非真空卡盘式吸盘,基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置,无需抽真空,就能达到旋涂效果。
  • 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面,坚固的不锈钢外壳,钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘,使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
  • 匀胶旋涂仪采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制,10个用户自定义协议,每个协议下可设置10个程序,每个程序多50个步骤。
  • 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
  • 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证运行安全。
  • 转速稳定性<2%。
  • 转速120-6000rpm。
  • 定时器1-1000秒。
  • 电源DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz电源适配器。
  • 尺寸220x170x132mm。
  • 左:普通旋涂机上有真空密封环形印迹     右:Ossila非真空式旋涂效果
 

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