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匀胶旋涂仪在使用过程中的使用注意事项

发布时间:2022-02-11      点击次数:458
  匀胶旋涂仪操作简单,结构小巧紧凑,占地空间小,为实验室提供了理想的解决方案。可用于实验室项目建设.作为用于除半导体外,还有硅片、芯片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,科研、教学之用。
  匀胶旋涂仪的使用注意事项:
  1.使用前主要检查设备与真空泵和氮气瓶的接口是否漏气;
  2.实验时,依次打开设备电源开关,氮气/干燥气体瓶阀门,真空开关,结束时,先关真空,再关氮气/干燥气体瓶阀门;
  3.氮气/干燥气体的压力控制不宜过大建议氮气瓶气压从0.35MPa起缓慢上调,直至设备控制面板上的CDA停止闪烁即停止调整;
  4.严禁放置超出设备限定范围的过大过重材料,否则将会损坏设备的旋控精度;
  5.所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盘甩小的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞;
  6.如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难;
  7.气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气泵的状况良好及吸片确已吸住;
  8.实验期间设备闲置时,为了保护好泵的工作性能,请关闭真空泵,建议泵的连续作业不超过1小时;
  9.实验结束后,请拭去设备内腔残留物,并清空废液接收罐,使用原片遮住,将设各用塑料封套盖好以避污染;
  10.对于废液废气的排放和处置,请遵守试剂使用的相关环保说明。
华仪行(北京)科技有限公司
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