影响匀胶旋涂仪性能的关键参数有哪些？

　　匀胶旋涂仪一般包括托盘安装于腔室内部，用于吸附基片；喷嘴，延伸入腔室内部，用于将去离子水、有机溶剂或光刻胶喷射到基片上；微波发生装置，安装于腔室侧壁，用于产生微波对基片提供热量；温控系统，安装于腔室上壁，用于控制微波发生装置以设定微波加热的功率、频率、时间。依照微波匀胶设备及其方法，采用微波加热脱水，快速蒸发基片内水分，降低涂胶工艺的时间成本、减小环境污染。此外微波干燥施加的热量是从基片内部逐渐扩散到基片外部，从而减小干燥应力，使薄膜涂层既具有低的孔隙度又有较好的强度，避免干凝胶的开裂。
 

　　影响匀胶旋涂仪性能的关键参数：

　　1、旋转速度：

　　转速的高低和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。

　　2、真空吸附系统的构造与清洗：

　　无忧真空泵压力标定要准确，如果真空吸附力降低，会导致基底吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。匀胶机的清洗问题，在使用完匀胶机后，在泵打开的前提下，要用有机溶液如：丙酮，酒精等清洗气孔。

　　3、片托材质的选择：

　　对于半导体化工行业的应用来说，片托材质的选择尤为关键，大部分匀胶机片托采用的是铝合金或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，铝合金对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。目采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。