CIF-匀胶旋涂仪

产品型号： SC1

所属分类：CIF匀胶机

产品时间：2020-04-21

简要描述：CIF-匀胶旋涂仪转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

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详细说明：

CIF-匀胶旋涂仪

产品特点

1、采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。

2、 5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，最多100个阶段。

3、内置水平校准装置，最大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

4、 多重安全保护

电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

盖子自锁功能，防止飞片盖子弹开伤人；

双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，最大限度保证实验人员安全。

5、一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。

6、不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，PTFE旋涂腔体，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盘，PTFE嵌镶钢化玻璃上盖，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

7、适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。

技术参数

型号	转速（转/分）	转速稳定度	匀胶时间	旋涂基片尺寸mm	外型尺寸（LxWxH）mm
SC1	50-10000	±1％	0-2000S	圆片Φ5-Φ100,方片最大100x100	310x260x250