CIF匀胶旋涂仪

 　　CIF匀胶旋涂仪转速稳定、启动迅速，旋涂均匀，操作简单，结构紧凑实用，为实验室提供了理想的解决方案。CIF匀胶机可广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。

　　匀胶旋涂仪又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

　　其旋转速度的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有国际标准认定。
 

　　匀胶旋涂仪的真空泵一定要选用无油的，压力标定准确，因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多匀胶机都做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。

 

匀胶旋涂仪产品特点:

 　　1.采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶的均一性。

　　2.5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，z多100个阶段。

　　3.内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

　　4.多重安全保护。电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全。

　　5.样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。

　　6.一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

　　7.符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。

　　8.不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

　　9.上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置

　　10.可选氮气吹干、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。

　　11.适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。
 

匀胶旋涂仪技术参数: