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首页 > 产品中心 > CIF材料表面处理仪器 > CIF匀胶机 > MSC/SC1/2CIF匀胶旋涂仪

CIF匀胶旋涂仪

简要描述:CIF 推出的旋涂机系列产品转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。

  • 产品型号:MSC/SC1/2
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-26
  • 访  问  量:6998

详细介绍

品牌CIF

产品特点

◆  采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。

  7 寸全彩中英文互动操作触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配 10 个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置  选配 20 个可编程程序,每个程序下可设置 10 个匀胶梯度阶段,最多 100 个阶段。

  内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。

◆  多重安全保护电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;

双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。

◆  样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。

◆  一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

◆  符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计,取放样品更方便。

  不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用 PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器 在苛刻条件下仍能正常运行。

◆  上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带废胶收集装置。

◆  可选氮气吹扫、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多的操作便利性。

◆  适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。

 技术参数

 

型号

MSC

SC1

SC2

转速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

转速稳定度

±1%

±1%

±1%

匀胶时间

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作舱直径

直径 180mm

直径 180mm

直径 240mm

基片尺寸

圆片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圆片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圆片 Φ=8 吋,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包装尺寸

L365xW445xH335mm

L365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整机重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

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