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透射电镜样品杆清洗机

透射电镜样品杆清洗机

产品型号: CIF-TEM

所属分类:CIF透射电镜样品杆清洗机

产品时间:2020-04-13

简要描述:CIF透射电镜样品杆清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

详细说明:

CIF透射电镜样品杆清洗

 

CIF透射电镜TEM样品杆清洗采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用清洗快速高效远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。

  • 双等离子清洗源
  • 一机多用
  • 快速高效低损伤

技术参数

 

产品型号

CIF-TEM

真空泵

Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵

最大入口压力1.0个大气压(0psig)最大出口压力1.4个大气压(6.5psig)

抽速60L/min极限真空3.3 x 10-1 mbar

KF16入口接口

等离子电源

13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-100W可调

两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源自动匹配器

清洗

清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm

清洗数量

可同时清洗3支TEM样品杆

适配品牌

THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL

气体控制

标配双50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源

220V,50/60Hz,300W

质量保证

二年质保,终身维护



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