透射电镜样品杆清洗机

简要描述：CIF透射电镜样品杆清洗机（TEM）采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗功能。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。

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详细介绍

品牌	CIF	产地类别	国产
应用领域	医疗卫生,环保,食品,化工

CIF透射电镜样品杆清洗机（TEM）采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗功能。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。

透射电镜样品杆清洗机产品特点

v 双等离子清洗源

v 一机多用

v 快速高效低损伤

透射电镜样品杆清洗机

透射电镜样品杆清洗机技术参数

产品型号	CIF-TEM
真空泵	Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵
	z大入口压力：1.0个大气压（0psig），z大出口压力：1.4个大气压（6.5psig）
	z高抽速：60L/min，j限真空：3.3 x 10-1 mbar
	KF16入口接口
等离子电源	13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-100W可调
等离子电源	两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器
清洗室	清洗室尺寸(长X宽X高)：150x150x150mm
清洗数量	可同时清洗3支TEM样品杆
适配品牌	Thermo Fisher（FEI）、日立Hitachi、捷欧路JEOL
气体控制	标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源
真空控制	美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源	220V，50/60Hz，300W
质量保证	二年质保，终身维护

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