扫描电镜等离子清洗机

简要描述：CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于 SEM 或 FIB 等腔体内碳氢化合物的清洗。

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详细介绍

品牌	CIF	产地类别	国产
应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,地矿,能源

产品特点

◆ 远程离子清洗源

◆ 清洗快速、高效

◆ 低轰击损伤

技术参数

产品型号	CIF-SEM
法兰接口	KF40（CF40）
工作气压	0.3-3Pa
等离子电源	13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调
等离子电源	远程等离子源，自动匹配器
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源 / 功率	AC220V，50/60Hz，300W
可选配件	可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM
质量保证	二年质保，终身维护
产品尺寸	L320xW385xH465mm
包装尺寸	L440xW535xH725mm
整机重量	25

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