扫描电镜等离子清洗机

Name: 扫描电镜等离子清洗机CIF-SEM
Brand: CIF
Availability: InStock

简要描述：CIF扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源，在实现高效、快速清洗的同时，能显著降低对样品的轰击损伤。本设备主要用于清除SEM、FIB等仪器腔体及样品表面的碳氢化合物污染，兼容国内外主流电镜品牌，保障设备性能与成像质量。

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详细介绍

品牌	CIF	产地类别	国产
应用领域	医疗卫生,环保,生物产业,地矿,能源

CIF扫描电镜等离子清洗机

CIF扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源，在实现高效、快速清洗的同时，能显著降低对样品的轰击损伤。本设备主要用于清除SEM、FIB等仪器腔体及样品表面的碳氢化合物污染，兼容国内外主流电镜品牌，保障设备性能与成像质量。
产品特点

u 远程等离子清洗源：从物理空间上隔离等离子体与样品，有效减少直接轰击。

u 高效快速清洗：显著缩短前处理时间，快速清除碳氢化合物等污染物。

u 极低样品损伤：优化后的工艺能最大限度保护样品原始结构与表面形貌。
技术参数

型号	CIF-SEM
等离子电源	13.56MHz射频电源，功率5-150W连续可调，配备远程等离子源与自动阻抗匹配器
工作气压	0.3 - 3 Pa（典型工艺范围）
法兰接口	KF40（兼容CF40）
气路控制	标配双路质量流量计（MFC，量程0-500 sccm），流量自动稳定，不受环境温压波动影响
工艺气源	支持氧气、氩气、氮气、氢气等多种高纯气体，满足不同清洗工艺需求
真空互锁	采用真空计与电磁阀安全互锁机制，保障系统运行安全
可选气源扩展	可外接高纯氧气、氮气、氢气发生器（氢气纯度＞99.999%，流量0-500 sccm）
人机界面	7英寸全彩触摸屏，配备中英文双语交互界面
整机尺寸	385mm (长) × 400 mm (宽) × 495 mm (高)
包装尺寸	535 mm (长) × 520 mm (宽) × 735 mm (高)
电源输入	AC 220V，50/60Hz，额定功率320W。
整机重量	27 kg。
质量承诺	二年质保，终身维护

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