产品分类
Product Category详细介绍
| 品牌 | CIF | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,航空航天,综合 |
微波等离子技术是用微波电磁场激发气体电离,形成低温,高密度等离子体的技术。
应用领域
u 半导体封装:芯片焊盘清洗、引线框架处理
u 光学器件:透镜、光纤表面清洁与活化
u 医疗植入物:手术器械、人工关节表面处理
u 汽车电子:传感器、键合表面预处理
u 科研实验:材料表面改性、纳米涂层前处理
产品特点
u 智能交互界面:7寸彩色触摸屏,中英文双语操作,实时监测与自动调节工艺参数,内置20组配方程序,支持工艺数据存储与追溯。
u 可靠控制系统:PLC全程控制,支持手动/自动双模式,清洗过程稳定可靠,重复性优异。
u 双向智能真空控制:支持气体流量或腔体压力两种模式精准调控真空度,工艺调控灵活,适应多样化精密处理需求。
u 精准气体管理:标配双质量流量计(MFC),支持氧气、氩气、氮气、氢气及混合气体等多种气源,控制精度高,工艺一致性优。
u 洁净防污设计:配备HEPA高效过滤器,气体返填吹扫功能,避免交叉污染。
u 优质材质结构:真空舱体采用316不锈钢或石英材质,全真空管路为316不锈钢,耐腐蚀、无污染。
u 人性化操作设计:符合人体工能学操作面板,上控制下舱体结构,节省空间。
u 高效稳定工艺:处理快速均匀,重复性好,样品处理温度低,避免热损伤与热氧化。
u 周全安全保护:舱门开启自动断电,可控泄压等多重防护机制,保障操作人员与样品安全。
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